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產品型號：HD-T1030
更新時間：2025-03-24簡要描述：SUNX晶圓定位傳感器系列一覽反應時間0.5ms以下（8V/ms以上）分辨率30μm（注2）直線性±1.0%F.S.（檢測位置的檢測寬度28mm）（注3）溫度特性±0.1%F.S./℃（24±2℃） （注3）
SUNX晶圓定位傳感器系列一覽
結構特點：
雖然使用紅色LED作為光源，但仍然具有激光傳感器同樣的高，因此可實現(xiàn)高精度檢測。
無需光軸調整
投、受光部一體型，無需繁瑣的光軸調整。并且，檢測距離及檢測寬度可以覆蓋30mm的廣闊區(qū)域，可對應各種不同尺寸的晶圓。
配備系數(shù)和偏移量調整功能
模擬輸出(1～5V)除了系數(shù)調整功能之外，還具備方便的偏移調整功能，可在±0.5V的范圍內轉換模擬電壓。
使用安全的紅色LED作為光源，無需任何繁雜的安全措施。
無需使用激光時*的保護罩，在美國使用時不需要符合FDA標準。
使用ONE SHOT連接器將檢測頭與控制器連接。配線工時降低限度，維護輕松。
低消耗電流70mA以下
檢測頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實現(xiàn)光電傳感器同等的低功耗。
適用控制器 HD-T1C
檢測寬度 30mm(直線性按照28mm的寬度規(guī)定)
檢測距離 30mm(固定)(注2)
效果圖：
| 環(huán) 境 性 能 | 保護構造 | IP40(IEC) |
| 使用環(huán)境溫度 | 0～+40℃(注意不可結露)，存儲時：-20～+55℃ | |
| 使用環(huán)境濕度 | 35～85%RH、存儲時：35～85%RH | |
| 使用環(huán)境照明度 | 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度3,000lx以下 | |
| 耐電壓 | AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間 | |
| 緣電阻 | 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表 | |
| 耐振動 | 頻率10～150Hz 雙振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小時 | |
| 耐沖擊 | 加速度490m/s2(約50G) X,Y和Z方向各3次 |
SUNX晶圓定位傳感器系列一覽
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